时栅直线位移传感器

本发明公开了一种直线位移传感器的误差测量方法及测量装置，该误差测量方法包括：设置测量点个数的步骤、测量并记录传感器测量值序列和激光干涉仪测量值序列的步骤，计算传感器测量误差值序列的步骤，画测量误差曲线的步骤以及建立测量误差函数并将其存储到直线位移传感器的数据处理模块中的步骤；该误差测量装置用于对由动测头和定尺构成的时栅直线位移传感器的误差进行测量，其包括气浮直线导轨、工程控制机、激光干涉仪、伺服直线电机、电机驱动控制模块和与时栅直线位移传感器配套的传感器电气驱动系统。本发明能对误差进行准确测量，降低人为因素影响，为后续直线位移传感器的误差修正提供基础。