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基于单排多层结构的电场式时栅直线位移传感器（ELECTRIC FIELD TYPE TIME-GRATING LINEAR .....）

专利号: 特许第6086518号

专利类型: 国际发明专利

所在单位: 机械检测技术与装备教育部工程研究中心

项目负责人: 刘小康

申请日期: 2014/7/28 0:00:00

授权公告日期: 2017/2/10 0:00:00

证书号: 2016-533612

公告号

学科: 工学

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