一种电场式时栅角位移传感器

本发明公开一种电场式时栅角位移传感器，包括转子和定子，转子基体表面覆有一圈等间距的双正弦形电极；定子基体表面均匀地覆有一圈扇环形或曲面矩形电极，电极底部有定子引线，电极与引线之间有绝缘层，电极表面覆有绝缘保护层，形成一种多层结构；转子基体与定子基体同轴安装，并留有一定间隙δ；转子基体绕轴心相对转动；定子一个周期内的4个电极分别连接相位为0°，90°，180°，270°的等幅等频正弦激励电压，转子电极上产生的行波信号Uo与一路相位固定的同频参考信号Ur进行比相；两路信号的相位差由插补的时钟脉冲表示，再通过变换得到角位移值。它结构简单，功耗低，对机械安装精度要求低，可实现任意360°范围内的高精度角位移测量。