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一种基于交变电场的绝对式时栅直线位移传感器

专利号: 2017113495449

专利类型: 国家发明专利

所在单位: 机械检测技术与装备教育部工程研究中心

项目负责人: 刘小康

申请日期: 2017/12/15 0:00:00

授权公告日期: 2019/6/14 0:00:00

证书号: 3417145

公告号: CN109238119B

学科: 工学

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