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基于组合调制原理的绝对式时栅角位移传感器

专利号: 2018218471370

专利类型: 实用新型

所在单位: 机械检测技术与装备教育部工程研究中心

项目负责人: 刘小康

申请日期: 2018/11/10 0:00:00

授权公告日期: 2019/5/21 0:00:00

证书号: 8870230

公告号: CN208887655

学科: 工学

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