一种平面弦线直线位移传感器

专利号: ZL2013102467127

专利类型: 国家发明专利

所在单位: 机械检测技术与装备教育部工程研究中心

项目负责人: 郑方燕

申请日期: 2013/6/20 0:00:00

授权公告日期: 2016/11/23 0:00:00

证书号: 2295134

公告号: CN103278082B

学科: 工学

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说明介绍

本发明提出一种平面弦线直线位移传感器，包括定尺和测头，在定尺和测头基体上粘接硅片，在硅片上采用MENS光刻技术均匀刻线形成导电绕组，其中定尺上导电绕组为单相，形状为矩形，测头上的导电绕组为互相错开1/3极距的三相正弦形绕组，定尺绕组和测头绕组相对平行放置。当在定尺绕组中通以正弦激励信号，则在三相测头绕组中产生三路感应信号，将三路感应信号分别按时间移相0°、120°和240°后相加即可得到电行波信号，电行波信号的相位直接与直线位移量相对应。本发明具有精度高、重量轻、体积小、功耗低的优点。