一种基于光强正交调制的时栅角位移传感器

本发明公开了一种基于光强正交调制的时栅角位移传感器，包括发光元件、动盘基体、定盘基体和光电探测器。发光元件由大小相等的第一、第二、第三、第四光源体沿圆周方向排列构成，并分别通入同频同幅，相位相差90°的正弦激励电信号驱动。动盘基体上设有一圈呈扇环形的动盘透光面，定盘基体上沿圆周方向设有第一组、第二组、第三组、第四组定盘透光面，其空间相位分别与四个光源体的光照区域对应；各组定盘透光面与动盘透光面应满足特定的对应关系。光电探测器包括测头基体和固定在测头基体上能同时接收四组定盘透光面的光通量的光电测头。其对角位移进行精密测量，能降低电路控制难度、安装难度以及加工工艺难度。